Detail aplikovaného výsledku

Optický senzor tlaku s MEMS snímací membránou

KADLEC, J.; HELÁN, R.; URBAN, F.; VRBA, R.; VLACH, R.

Originální název

Optický senzor tlaku s MEMS snímací membránou

Anglický název

Optical pressure sensor with MEMS sensing membrane

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

Optický senzor tlaku s MEMS křemíkovou membránou a základnou z materiálu SIMAX.

Abstrakt aglicky

Optical pressure sensor with MEMS sensing membrane and header from SIMAX.

Klíčová slova

Pressure sensor, optical principle, MEMS membrane

Klíčová slova anglicky

Pressure sensor, optical principle, MEMS membrane

Umístění

BD Sensors, s.r.o., Buchlovice

Licenční poplatek

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)