Detail publikačního výsledku

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T.

Originální název

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

Anglický název

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

Druh

Článek recenzovaný mimo WoS a Scopus

Originální abstrakt

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

Anglický abstrakt

Description of device for measuring surface homogenity of thin films.

Klíčová slova v angličtině

thin films, optical reflection, interferometry

Autoři

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T.

Vydáno

01.06.2003

ISSN

0447-6411

Svazek

48

Číslo

6

Strany od

163

Strany počet

3

BibTex

@article{BUT41943,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola}",
  title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  pages="3"
}