Funkční vzorek kryogenního manipulátoru

Functional sample of cryogenic manipulator

Funkční vzorek

Teoreticky popsaný a experimentálně realizovaný mikrogripper založený na technologii MEMS (mikro-elektromechanický systém) dovoluje velmi přesné zachytávání mikroobjektů (částí vzorků pro rastrovací elektronovou mikroskopii) s lepší než mikrometrovou přesností. Zařízení obsahuje mikromanipulátor z monolitického křemíku s dvěma dlouhými rameny (statickým a pohyblivým) zakončené ostrými čelistmi. Pohyblivé přepákované rameno je aktuováno piezoelektrickým čipem. Křemíková část tohoto zařízení je vyrobena optickou litografií a hlubokým reaktivním iontovým leptáním.

The theoretically proposed and experimentally realized microgripper based on MEMS (micro-electromechanical system) technology allows high-accurate gripping of micro-objects (SEM sample chunks) with submicron precision. The device contains a monolithic silicon micromanipulator with two long arms (static and movable) ending in sharp jaws. The movable lever arm is actuated by a piezoelectric chip. Silicon part of the device is fabricated using optical lithography and deep reactive ion etching.

MEMS; mikrogripper; piezo čip; mikromanipulace

MEMS, microgripper, piezo chip, micromanipulation

Purkyňova 123, Brno, 612 00

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence