Vyhřívací platforma pro pouzdro TO-8 s 12 vývodovými piny

Heating platform for TO-8 package with 12 pin outlets

Funkční vzorek

Topný element, který je vytvořen pro pouzdro TO-8 s 12 vývodovými piny, je realizován pomocí tlustovrstvé technologie na korundovém keramickém substrátu. Na substrátu s rozmery 5 x 5 cm a tloušťkou 250 µm je vytvoreno celkem 16 topných elementů. Každý obsahuje celkem 3 tlusté vrstvy, stříbro-platinovou pro vytvoření vodivých kontaktů (ESL Electroscience, type 9695-G), rutheniovou odporovou vrstvu jako aktivni vyhřívací vrstva (ESL Electroscience, type 3911-J) a izolační dielektrickou vrstvu jako elektricka izolace mezi případným vyhřívaným zařízením a topným elementem (ESL Electroscience, type 4771-P1). Vyhřívací platformu lze použít pro vyhřívání vzorků o rozměrech vyhřívací vrstvy, která má 7 x 7 mm. Celá platforma je složena celkem ze dvou částí, topného elementu a podložky. Maximální teplota vyřívací platformy je 300°C.

The heating element, which is designed for TO-8 package with 12 pin outlets , is made using a thick-layer technology on a corundum ceramic substrate. A total of 16 heating elements are formed on a 5 x 5 cm substrate with a thickness of 250 μm. Each contains a total of 3 thick layers, silver-platinum to form conductive contacts (ESL Electroscience, type 9695-G), a ruthenium resistive layer as an active heating layer (ESL Electroscience, type 3911-J) and an insulating dielectric layer as electrically insulated between possibly heated equipment and heating element (ESL Electroscience, type 4771-P1). The heating platform can be used to heat samples with dimensions of the heating layer, which is 7 x 7 mm. The entire platform is composed of a total of two parts, a heating element and a washer. The maximum temperature of the platform is 300 ° C.

Vyhřívací platforma, topný element, TO-8

Heating platform, heater, TO-8

LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika).

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

http://labsensnano.umel.feec.vutbr.cz/products.aspx?id=135