Automatizace a řízení depozičního procesu metodou IBAD/IBS

Automation and control of deposition by IBAD/IBS

Funkční vzorek

O automatické ovládání depoziřního procesu se stará software vytvořený v programovacím prostředí LabView. Ten ovládá sérii zařízení nutných k přesnému nastavení a ovládání depozice při tvorbě multivrstev. Je řízena skupina deseti napětových a proudových zdrojů, které se starají o ovládání dvou iontových zdrojů. Jedna skupina zdrojů se nachází na plovoucím potenciálu v řádu stovek volků, a proto bylo kvůli jejich ovládání zařízení osazeno sérií napěťových oddělovačů. Dále je řízen průtokoměr, který zajišťuje správné dávkování pracovního plynu do komory iontového zdroje. Je řešeno vyčítání dat z tloušťkoměru, který zaznamenává tloušťku naprašované vrstvy a také dvou tlakoměrů, které vyčítají aktuální tlak v komoře. Zařízení bylo navíc doplněno o dva krokové motory. Ty se starají o ovládání clony substrátu a otáčení terče s nanášeným materiýlem při vytváření multivrstvé struktury. Pro jejich správné nastavení byly zavedeny i dva způsoby vyčítání koncové polohy. První využívá optických závor a druhý měření průtoku napětí při sepnutí v koncové poloze.

The deposition process is computer controlled via software developed in programming environment LabView. Software simultaneously controls several devices which required in order to obtain multilayers with specified parameters. This is achieved via several voltage and current sources, which are responsible for control of two ion sources, flow meter which provides the correct dosage of the working gas, thicknessmeter, two pressure gauges, substrate shutter and drives for target exchange. As a part of sources is on a floating potential of hundreds volts, therefore it was necessary to fit the deposition machine with a series of voltage dividers. For the correct position of the shutter and target the machine contains two circuits for reading end position. The first uses optical gates and the second voltage flow measurement in end position.

Zařízení; iontové naprašování; IBAD; IBS; průtokoměr; napěťový zdroj; proudový zdroje; krokový motor; tloušťkoměr; tlakoměr; LabView

Device; ion sputtering; IBAD; IBS; flow meter; voltage supply; current supply; stepper motor; thickness meter; pressure meter; LabView

A2/518

výsledek využívá pouze poskytovatel

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-05/