Přístupnostní navigace
E-přihláška
Vyhledávání Vyhledat Zavřít
Detail publikace
SVATOŠ, V. MÁRIK, M. PEKÁREK, J. HRDÝ, R. CHOMOUCKÁ, J. HUBÁLEK, J.
Originální název
Low power MEMS heating membrane
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
angličtina
Originální abstrakt
This paper reports on design and fabrication of the low power MEMS heating membrane - micromachined hotplates. This type of device is very often used for gas-sensing applications. The aim of this work is to produce heating membrane with the power consumption below 100 mW at the operating temperature 480 C. The sample which is going to be produced will be the membrane with size of 1x1 mm, to ascertain the applicable process of the fabrication technology and the applicable design of the micro-hotplate.
Klíčová slova
MEMS (microelectromechanical system), micro-hotplate, power consumption, micromachining.
Autoři
SVATOŠ, V.; MÁRIK, M.; PEKÁREK, J.; HRDÝ, R.; CHOMOUCKÁ, J.; HUBÁLEK, J.
Rok RIV
2012
Vydáno
28. 6. 2012
Nakladatel
Vysoké učení technické v Brně
Místo
Brno
ISBN
978-80-214-4539-0
Kniha
EDS 12 IMAPS CS INTERNATIONAL CONFERENCE PROCEEDINGS
Číslo edice
1
Strany od
257
Strany do
260
Strany počet
4
BibTex
@inproceedings{BUT93610, author="Vojtěch {Svatoš} and Marian {Márik} and Jan {Pekárek} and Radim {Hrdý} and Jana {Pekárková} and Jaromír {Hubálek}", title="Low power MEMS heating membrane", booktitle="EDS 12 IMAPS CS INTERNATIONAL CONFERENCE PROCEEDINGS", year="2012", number="1", pages="257--260", publisher="Vysoké učení technické v Brně", address="Brno", isbn="978-80-214-4539-0" }