Detail aplikovaného výsledku

Epitaxní vrstva GaN nadeponovaná vysokoteplotní aparaturou MOCVD

ŠIK, O.; VOBORNÝ, S.; MÜNZ, F.; HUBÁLEK, J.

Originální název

Epitaxní vrstva GaN nadeponovaná vysokoteplotní aparaturou MOCVD

Anglický název

Epitaxy film of GaN deposited in high-temperature MOCVD aparatus

Druh

Funkční vzorek

Abstrakt

SEM, XRD, XPS, fotoluminiscenční analýza a elipsometrie epitaxní vrstvy GaN rostlé na safírovém substrátu metodou MOCVD.

Abstrakt aglicky

SEM, XRD, XPS, Photoluminiscence analysis and Ellipsometry of epitaxy GaN film growth on saphire substrate by MOCVD method.

Klíčová slova

GaN, epitaxy, SEM, XRD, XPS, Photoluminiscence, Ellipsometry, MOCVD

Klíčová slova anglicky

GaN, epitaxy, SEM, XRD, XPS, Photoluminiscence, Ellipsometry, MOCVD

Umístění

CEITEC, Research group RG102

Licenční poplatek

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

www