Depoziční pracoviště pro CNT pomocí acetylénu za sníženého tlaku

Workplace for CNT deposition using acetylene under low pressure

Funkční vzorek

Pracoviště pro depozici uhlíkových nanotrubic pomocí rozkladu acetylenu za sníženého tlaku se skládá z rotační a difúzní vývěvy, skleněné komory a vyhřívaného držáku vzorku. Do komory je skrz průchodky přiveden acetylén, který slouží jako zdroj uhlíku pro následnou tvorbu uhlíkových nanotrubic. Celý proces probíhá tak, že na křemíkový substrát je přes masku napařen katalyzátor (např. kobalt či železo). Vzorek je poté umístěn do komory na vyhřívaný držák. Po vyčerpání na požadovaný tlak je na zahřátý vzorek puštěn acetylen přesně definovaným průtokem. V místě napařeného katalyzátoru pak vyrostou vertikálně zarovnané nanotrubice.

Workplace for deposition of carbon nanotubes from acetylene precursor at decreased pressure is built up from rotary and diffusion vacuum pump, glass chamber and heated holder of the sample. The acetylene is flowing to the chamber via grommet as carbon precursor for carbon nanotubes growing. Whole process is performed so that catalyst (Co or Fe) is deposited on the silicon substrate through a mask. The sample is placed in a chamber heated holder. After exhausting the required pressure, the heated sample is exposed to well-defined flow of the acetylene. Vertically aligned nanotubes grow in the place of deposited catalyst.

Carbon nanotubes, acetylene, low pressure deposition

Carbon nanotubes, acetylene, low pressure deposition

LabSensNano T10-0.67

výsledek využívá pouze poskytovatel

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=71