Applied result detail

Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm.

BÁBOR, P.; POTOČEK, M.; ŠIK, O.; ŠKODA, D.; PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.

Original Title

Laserově odolný reflexní optický element pro 266 nm.

English Title

Laser resistant reflection optical element at 266 nm.

Type

Functioning sample

Abstract

Laserově odolná vysokoreflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 0F kombinující systém Al 2 O 3 /SiO 2 technologií napařování pomocí elektronového svazku. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu 1 500 W/cm2 pro pulsní laser λ = 266 nm, šířka pulsu 4 ns a opakovací frekvence 100 Hz, certifikováno ISO 21254-2.

Abstract in English

Laser resistant highreflective coating on Corning 7980 HPFS 0F witness glass (in DUV quality) with applied coating combining Al2O3/SiO2 prepared by e-beam evaporation technology. The LIDT laser resistance limit was set as > 1 500 J/cm2 for operating pulsed laser λ = 266 nm, a pulse width of 4 ns and a repetition frequency of 100 Hz certified by ISO 21254-2.

Keywords

optical coating, DUV, LIDT

Key words in English

optical coating, DUV, LIDT

Location

Meopta Přerov

Licence fee

The result is being used by the owner