Project detail
Development of atomic source for applications in electron microscopy
Duration: 1.1.2018 — 31.12.2019
Funding resources
Technologická agentura ČR - Program na podporu aplikovaného výzkumu ZÉTA
On the project
Vývoj a aplikace zdroje atomárního svazku vodíku pro použití ve skenovacím elektronovém mikroskopu. Bude vyvinuto efektivní odstínění, které bude umožňovat pozorování vzorků během expozice atomárním svazkem.
Description in English
Development of an source for generation of atomic hydrogen in a scanning electron microscope.
Research and development of methodology for characterization of surface changes of semiconductor and metal samples after exposure to atomic hydrogen.
Keywords
vodík, atomární, redoxní reakce, vakuum, skenovací elektronový mikroskopo (SEM)
Key words in English
hydrogen, atomic, redox reactions, vacuum, scanning electron microscope (SEM)
Mark
TJ01000271
Default language
Czech
People responsible
Dhankhar Meena, Ph.D. - principal person responsible
Bukvišová Kristýna, Ing. - fellow researcher
Kolíbal Miroslav, prof. Ing., Ph.D. - fellow researcher
Vyroubal Ondřej, Ing. - fellow researcher
Units
Central European Institute of Technology BUT
- responsible department (2.5.2017 - 5.5.2017)
Fabrication and Characteris. of Nanostr.
- responsible department (5.5.2017 - not assigned)
Fabrication and Characteris. of Nanostr.
- co-beneficiary (1.1.2018 - 31.12.2019)
Central European Institute of Technology BUT
- beneficiary (2.5.2017 - not assigned)
Results
KOLÍBAL, M.; DHANKHAR, M.; BUKVIŠOVÁ, K.; NOVÁK, L.: Ověřená technologie použití aH v SEM; Verified technology for utilization of atomic hydrogen source in SEM. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2/518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/technology-for-observation-of-redox-reactions-in-sem/. (ověřená technologie)
Detail
MACH, J.; KOLÍBAL, M.: ovládací jednotka pro atH zdroj; Ovládací jednotka pro zdroj atomárního vodíku. Laboratoř povrchů a tenkých vrstev, Technická 2, A2-518. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2019-athunit/. (funkční vzorek)
Detail
MACH, J.; KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.: H-source for SEM; Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM. A2/518, Technická 2, Brno 61669. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2018-01/. (funkční vzorek)
Detail
Responsibility: Dhankhar Meena, Ph.D.