Vývoj a aplikace zdroje atomárního svazku vodíku pro použití ve skenovacím elektronovém mikroskopu. Bude vyvinuto efektivní odstínění, které bude umožňovat pozorování vzorků během expozice atomárním svazkem.

Description in English
Development of an source for generation of atomic hydrogen in a scanning electron microscope. Research and development of methodology for characterization of surface changes of semiconductor and metal samples after exposure to atomic hydrogen.

Keywords
vodík, atomární, redoxní reakce, vakuum, skenovací elektronový mikroskopo (SEM)

Key words in English
hydrogen, atomic, redox reactions, vacuum, scanning electron microscope (SEM)

TJ01000271

Czech

Dhankhar Meena, Ph.D. - principal person responsible
Bukvišová Kristýna, Ing. - fellow researcher
Kolíbal Miroslav, prof. Ing., Ph.D. - fellow researcher
Vyroubal Ondřej, Ing. - fellow researcher

Central European Institute of Technology BUT
- responsible department (2.5.2017 - 5.5.2017)
Fabrication and Characteris. of Nanostr.
- responsible department (5.5.2017 - not assigned)
Fabrication and Characteris. of Nanostr.
- co-beneficiary (1.1.2018 - 31.12.2019)
Central European Institute of Technology BUT
- beneficiary (2.5.2017 - not assigned)

KOLÍBAL, M.; DHANKHAR, M.; BUKVIŠOVÁ, K.; NOVÁK, L.: xx; Verified technology for utilization of atomic hydrogen source in SEM. xx. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/technology-for-observation-of-redox-reactions-in-sem/. (Ověřená technologie)
Detail

MACH, J.; KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.: xx; Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM. xx. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2018-01/. (Funkční vzorek)
Detail

MACH, J.; KOLÍBAL, M.: xx; Ovládací jednotka pro zdroj atomárního vodíku. xx. URL: http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2019-athunit/. (Funkční vzorek)
Detail

Responsibility: Dhankhar Meena, Ph.D.