Applied result detail

Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM

MACH, J.; KOLÍBAL, M.; MUSÁLEK, T.

Original Title

Funkční vzorek zdroje atomárního vodíku pro SEM

English Title

Functional sample of atomic hydrogen source for SEM

Type

Functioning sample

Abstract

Zdroj atomárního vodíku kompatibilní s mikroskopovou řaodu FEI. Provozní parametry zdroje (zejména pracovní tlak) souhlasí s fyzikálními podmínkami pozorování v SEM, zdroj je modulární a jeho začlenění do SEM nijak neomezuje ostatní použití SEM

Abstract in English

Source of atomic hydrogen compatible with Thermo Fisher microscopes. The working parameters (pressure most importantly) match those of SEM, the source is modular and its integration into SEM does not restrict other SEM usecases.

Keywords

vodík, rastrovací elektronový mikroskop, částicové zdroje

Key words in English

hydrogen, scanning electron microscope, particle sources

Location

A2/518, Technická 2, Brno 61669

Licence fee

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

www