Master's Thesis

Semiconductor nanowire growth utilizing alloyed catalyst

Final Thesis 5.72 MB

Author of thesis: Ing. Tomáš Musálek

Acad. year: 2015/2016

Supervisor: prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D.

Reviewer: prof. RNDr. Bohuslav Rezek, Ph.D.

Abstract:

This master's thesis deals with growth of germanium nanowires using different catalyst particles. The emphasis is mainly layed on fabrication of specific alloyed catalyst consisting of (AgGa). In the first part of the thesis are mentioned two most common concepts of nanowire growth and the importance of phase diagrams for their interpretation. Method for production of alloyed catalyst is demonstrated and experiments focused on the growth of germanium nanowires using this catalyst were performed. Moreover, method for modification of germanium surface via anisotropic etching is demonstrated as well. Such etched structures are suitable for nanowire growth with the help of different kinds of catalyst particles or for the growth of nanowires made of various materials.

Keywords:

Nanowires, germanium, alloyed catalysts, anisotropic etching, metal nanoparticles.

Date of defence

20.06.2016

Result of the defence

Defended (thesis was successfully defended)

znamkaAznamka

Grading

A

Language of thesis

Czech

Faculty

Department

Study programme

Applied Sciences in Engineering (N3901-2)

Field of study

Physical Engineering and Nanotechnology (M-FIN)

Composition of Committee

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)

Tomáš Musálek cíleně pracoval na zvoleném tématu již ve čtvrtém ročníku, navázal rovněž na svou bakalářskou práci. Oba cíle (růst nanodrátů a anizotropní leptání germánia) se mu díky nadšení pro zadaný problém podařilo spojit v posledním experimentu. Při práci s vakuovou aparaturou na ÚFI a v CEITEC čelil mnoha experimentálním problémům, které se mu dařilo díky značnému úsilí řešit. Pracoval svědomitě i ve svém volném čase, byl iniciativní a vnášel do výzkumu nové nápady, které i samostatně realizoval. Výsledná podoba experimentální části práce je výsledkem několika společných konzultací a vhodně prezentuje dosažené výsledky.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Grade proposed by supervisor: A

Práce je celkově přehledně a logicky upořádána. Uvádí důkladnou rešerši a popis klíčových principů a metod přípravy katalytických částic a nanodrátů. Vzhledem k dominantnímu zastoupení SEM měření by bylo ještě vhodné v úvodní části popsat metodu měření v SE a BSE režimu. Pro lepší přehlednost by bylo také vhodné popsat dílčí části obrázků obvyklým a) b).

V práci není zřejmé z jaké metody a/nebo argumentů vychází závěry o prvkovém složení katalytických částic a jejich sub-struktury. Vzhledem k tomu, že je to jedním z hlavních výsledků práce, bylo by žádoucí to podrobněji vysvětlit. V práci mi dále chybí důkladnější zpracování, číselné vyhodnocení a porovnání výsledků, například: i) velikostí a hustoty katalytických částic v závislosti na složení a způsobu přípravy, ii) velikosti a složení nanodrátů na depoziční teplotě substrátu (viz. např. obr. 3.4, kde se v obrázcích pod úhlem zdá být v tomto smyslu nějaký trend). Těchto odborných připomínek se týkají níže uvedené otázky k obhajobě. V práci bylo také místy obtížné odlišit přechod mezi již známými poznatky a vlastní konkrétní prací a výsledky. Vlastní přínos by proto bylo vhodné při obhajobě jasně uvést.

Přesto lze konstatovat, že diplomat v mezích možností naplnil cíle práce, tedy prozkoumání přípravy dvousložkových katalytických částic a možnosti jejich využití pro růst nanodrátů. To, že ne vše fungovalo dle očekávání, je dokladem náročnosti tématu a jeho vědecké novosti.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání B
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod B
Vlastní přínos a originalita C
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry C
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii B
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A
Topics for thesis defence:
  1. 1) Z jaké metody a/nebo argumentů vychází závěry o prvkovém složení katalytických částic a jejich částí, které se v práci objevují na mnoha místech?
  2. 2) Jak byly zjištěny „osvědčené podmínky“ pro vytvoření dvousložkových částic (viz strana 20 dole)? Vychází z nějaké optimalizační křivky?
  3. 3) Proč nelze zvýšit teplotu substrátu nad 550°C, kdy dle literatury (ref. 38) byl růst nanodrátů spěšný? Byla by možnost podpořit růst metodou PE-CVD, kdy rostou např. Si nanodráty na Au částicích i za nízké teploty (viz práce Kočka et al., doi:10.1139/cjp-2013-0584)?
  4. 4) Z výsledků se zdá, že i samotný Ge substrát vede k růstu epitaxních ostrůvků a někdy i nanodrátů (viz. obr. 3.4, 3.5, 5.2, 5.3), a to dokonce účinněji než s částicemi. Je pro to nějaké vysvětlení? Zkoušel se i jiný materiál substrátu pro zamezení vlivu tohoto „parazitního“ procesu?
  5. 5) Je růst Ge nanodrátů pod úhlem na vyleptané struktuře skutečně systematicky pozorovaný efekt? Na obr. 5.4 se zdá být jen několik skutečných drátků, z nichž jeden je i na protilehlé rovině.
  6. 6) Bylo by možné prezentovat detailnější analýzu a diskuzi, například: a) složení dvousložkových částic v závislosti na délce depozice (obr. 2.10, 2.12, 2.13); b) trendu ve velikosti/výšce útvarů s rostoucí teplotou (obr. 3.4)?

Grade proposed by reviewer: B

Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová