Bachelor's Thesis

Design of an effusion cell for the deposition of Al ultrathin layers

Final Thesis 4.09 MB Appendix 2.32 MB

Author of thesis: Ing. Radek Řihák

Acad. year: 2013/2014

Supervisor: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Reviewer: Ing. Stanislav Voborný, Ph.D.

Abstract:

This Bachelor's thesis deals with design and construction of the effusion cell for deposition ultrathin layers of aluminum in ultrahigh vacuum conditions. Two types of effusion were designed. Differences are only in type of heating. The first one exploit energy of accelerated electrons and the second one exploit thermal radiation. Anothe parts of cells are fully interchangeable.

Keywords:

Effusion cell, aluminum, atom beam, ultrathin layers, MBE, UHV

Date of defence

25.06.2014

Result of the defence

Defended (thesis was successfully defended)

znamkaBznamka

Grading

B

Language of thesis

Czech

Faculty

Department

Study programme

Applied Sciences in Engineering (B3901-3)

Field of study

Physical Engineering and Nanotechnology (B-FIN)

Composition of Committee

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Supervisor’s report
doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Student se v rámci bakalářské práce aktivně podílel na realizaci návrhu dvou typů efuzních cel vhodných pro depozici ultratenkých hliníkových vrstev v podmínkách UHV. V rámci bakalářské práce byla provedena rešeršní studie aplikace Al a AlN ultratenkých vrstev. Byl vyhotoven 3D model dvou typů zdrojů atomárních svazku hliníku lišící se ohřevem depozitu a současně byla vyhotovena kompletní výkresová dokumentace. Dle vyhotoveného návrhu byla provedena realizace zdrojů. Práce studenta byla intenzivní, samostatná a přesahovala rámec zadání. Výsledky práce byly prezentovány ve formě posteru na konferenci International Summer School on Physics at Nanoscale 9th (2014).  Proto lze konstatovat, že student splnil všechny úkoly zadání, projevoval nadměrný zájem o danou problematiku a při práci si počínal snaživě.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry C
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací B
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Grade proposed by supervisor: B

Reviewer’s report
Ing. Stanislav Voborný, Ph.D.

Hlavním cílem bakalářské práce Radka Řiháka byl návrh a realizace efúzní cely pro napařování hliníku pro přípravu tenkých vrstev v ultravakuovém prostředí. Efúzní cela měla být dle zadání následně testována a měly být zjištěny její základní vlastnosti. Součástí práce má být také rešeršní studie týkající se depozice ultratenkých vrstev Al a AlN.
První kapitola práce zmiňuje některé metody napařování tenkých vrstev se zaměřením na epitaxní růst a se stručným popisem efúzní cely. Ve druhé kapitole jsou uvedeny základní vztahy týkající se teorie atomárních svazků a podmínek efúzního toku. Třetí kapitola je velmi stručným popisem materiálů hliníku a nitridu hliníku, jeho fyzikálních vlastností a některých technických aplikací. Poslední, rovněž stručná čtvrtá kapitola se již zabývá návrhem a realizací efúzní cely.
Rozsahem je práce velmi stručná, poměrně přehledná a je doplněná ilustrativními obrázky. Přesto je zatížena vyšším množstvím chyb, především překlepy, špatným skloňováním ve větách nebo chybějícími slovy. Malý rozsah textu se negativně projevuje na kapitole třetí, která měla být rešeršní studií depozice ultratenkých vrstev Al a AlN. V rozsahu něco málo přes dvě stránky textu, ve kterém jsou navíc tři tabulky, nejsou uvedeny informace např. o krystalografické struktuře těchto materiálů, mřížkových parametrech a jejich vazbě na často používané substráty. V tabulce 3.3 jsou uvedeny veličiny (Eto, Eth a další), které jsou v textu jen pojmenovány, ale nejsou vůbec vysvětleny. Podobně v kapitole čtvrté, která se zabývá konstrukčním řešením navržené efúzní cely a je dle mého názoru nejdůležitější, je popis konstrukce efúzních cel jen velmi stručný a nedostatečný. Některé konstrukční detaily nejsou vysvětleny vůbec a není to zřejmé ani z obrázků, jako např. způsob upevnění PBN kalíšku v těle cely. K bakalářské práci jsou přiloženy technické výkresy efúzních cel. Je znát, že student dobře ovládá návrhový software firmy Autodesk.
Čtvrtý cíl bakalářské práce, tj. měření a testování základních vlastností atomárních svazků z efúzních cel nebyl vůbec dosažen z důvodu neočekávaně dlouhé dodací lhůty výrobců některých komponent.
Přes výše uvedené nedostatky práci hodnotím jako zdařilou a aplikačně velmi užitečnou. Doporučuji ji k obhajobě a hodnotím ji stupněm B.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod B
Vlastní přínos a originalita B
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti C
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací B
Topics for thesis defence:
  1. U vztahu 2.13 uvádějící maxwellovské rozdělení rychlostí atomů ve zdroji není vysvětlen význam veličiny alfa. Dále je v této části ve vztahu 2.14 označena Vs jako nejpravděpodobnější rychlost, o několik řádků níže ve vztahu 2.16 je nejpravděpodobnější rychlost označena jako Vb. Uveďte, prosím, vše na správnou míru.
  2. Uveďte význam veličin uvedených v tab. 3.3.
  3. Jak je uchycen PBN kalíšek v efúzní cele?
  4. Jaká je krystalická struktura deponovaných vrstev Al a AlN?
  5. Ve vztahu 4.1 není vysvětlen význam veličiny I. Uveďte ho. Jaká je souvislost tohoto vztahu se Stefanovým- Boltzmannovým zákonem, jak uvádíte? Jak jste z něj určil vhodný průměr vlákna?

Grade proposed by reviewer: B

Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová