Master's Thesis

The preparation of Grafen by method CVD

Final Thesis 8.25 MB Appendix 349.5 kB

Author of thesis: Ing. Pavel Procházka, Ph.D.

Acad. year: 2011/2012

Supervisor: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Reviewer: Ing. Alexander Kromka, Ph.D.

Abstract:

This diploma thesis is mainly focused on the fabrication of graphene layers on the copper foil by the Chemical Vapor Deposition (CVD). For this purpose the high-temperature chamber for the production of the graphene was completed and fully automated. The production of the high area graphene on the copper foil was experimentally achieved. The Raman microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy measurements proved that the produced graphene is mostly a monolayer. Graphene layer was transferred on non-conductive substrate.

Keywords:

Chemical vapour deposition, CVD, graphene on copper foil, transfer of graphene, Raman spectroscopy, LabVIEW.

Date of defence

18.06.2012

Result of the defence

Defended (thesis was successfully defended)

znamkaAznamka

Grading

A

Language of thesis

Czech

Faculty

Department

Study programme

Applied Sciences in Engineering (N3901-2)

Field of study

Physical Engineering and Nanotechnology (M-FIN)

Composition of Committee

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Supervisor’s report
doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Student se v rámci diplomové práce aktivně podílel na realizaci aparatury pro přípravu grafenových vrstev. V rámci diplomové práce byla zprovozněna vysokoteplotní pec pro přípravu grafenových vrstev. Tato pec je plně řízena programem „Oven“, který byl vyhotoven studentem. Byla realizována metodika přípravy grafenových vrstev pomocí pyrolytického rozkladu na měděné folii. Takto připravené vrstvy grafenu byly studovány pomocí metody XPS a Ramaovy spektroskopie. Výsledné  grafenové vrstvy budou využity jak k dalšímu studiu, tak budou sloužit jako substrát pro kovové a polovodičové materiály. Práce studenta byla velmi intenzivní, samostatná a přesahovala rámec zadání. Proto lze konstatovat, že student splnil všechny úkoly zadání, projevoval nadměrný zájem o danou problematiku a při práci si počínal snaživě.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Grade proposed by supervisor: A

Reviewer’s report
Ing. Alexander Kromka, Ph.D.

Předložená diplomová práce je zpracována pečlivě, přehledně a s výbornou formální a jazykovou úrovní. Diplomová práce řeší problematiku růstu grafenových vrstev CVD metodou na Cu podložky. Rešeršní část diplomové práce je shrnuta v kapitolách 2 a 3. Kapitola 2 sumarizuje vybrané vlastnosti grafenových vrstev, jejich charakterizace Ramanovou spektroskopií a možné aplikace. V kapitole 3 je shrnuto více CVD metod tvorby grafenových vrstev. Kapitola 4 se detailně věnuje popisu jednotlivých funkčních bloků vysokoteplotního vakuového systému použitého pro růst grafenu. Z detailního popisu jednotlivých komponentů je zřetelné, že diplomant tematicky pochopil a zvládl funkčnost depozičního systému, co vedlo k úspěšnému vytvoření ovládacího softwaru „Oven“ pracujícího na platformě LabView. Experimentální část je shrnuta v kapitole 5, která začíná studiem rekrystalizace Cu substrátů. Kapitola 5 pokračuje samotným růstem grafenu, jeho charakterizaci a transportu na SiO2 podložky. Diplomová práce je shrnuta v kapitole 6.

V diplomové práci je důležité pozitivně vyzdvihnout: a) přehledné zpracování rešeršní části podloženo množstvem až didakticky laděných obrázků a b) rozsáhlou a časově náročnou experimentální část.

V textu jsou správně uvedeny citace, v případe některých obrázků není zřejmí zdroj, z kterého byl obrázek použit/přebrán (např. obr. 2.6, 3.6, 3.12). Názorně a správně je to uvedeno v případě obr. 3.13. U citace [15] chybí čísla stran, citace 39 a 40 se opakuje. V práci se na některých místech vyskytují malé gramatické překlepy, nebo nepřesnosti v jednotlivých výkladech (např. u Ramanovy spektroskopie, dále překlep v textu popisu obr. 5.4 - správně má byt uveden vzorek Cu4 až Cu6, atd.).

Předložená diplomová práce je dokladem toho, že bakalářský student P. Procházka kompletně zvládl zadanou tematiku diplomové práce, projevil schopnost samostatně přemýšlet o daném tématu v širším kontextu – tj. tvorby grafenových vrstev metodou CVD a konstrukci depozičního systému, a adekvátně použil zvolené metodiky jejich charakterizace a interpretaci dosažených výsledků.

Předloženou diplomovou práci doporučuji k obhajobě a hodnotím: A (výborně).
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita B
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii B
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Topics for thesis defence:
  1. V rámci vysoké časové náročnosti na stavbu podobného CVD zařízení můžete komentovat jakou spoluúčasti jste se podílel na stavbě CVD depozičního systému a provedení uvedených experimentů? Můžete shrnout minimální požadavky na čerpací rychlost použité turbomolekulární pumpy? Na základě čeho byl zvolen průtok plynů H2:CH4 = 2:35 ? Uveďte, v jakých tematických oblastech uvedená práce může pokračovat?

Grade proposed by reviewer: A

Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová