Bachelor's Thesis

Upgrade of the device for depositions by ion beam sputtering

Final Thesis 1.63 MB

Author of thesis: Ing. Michal Páleníček, Ph.D.

Acad. year: 2009/2010

Supervisor: doc. Ing. Petr Bábor, Ph.D.

Reviewer: doc. Ing. Jindřich Mach, Ph.D.

Abstract:

This thesis deals with concept and realization of device which allows loading without air intake. Vacuum technology and its theoretical bases are discussed as well. Moreover the thesis is based on description of the current deposition chamber and its principles. The main part deals with the description of the concepts of lock and load systems. The first concept that has not been realized is described just briefly. The second one is thorough with description of the individual solutions and methods. The work also contains simple instructions how to install the specimen. At the end are described some outputs of simulations that have been done to comprehend and solve any problems that might occur as specimen holder cooling and deflection of magnetic rod.

Keywords:

ION SPUTERING, VACUUM LOADING, VACUUM TRANSPORT, LOCK AND LOAD SYSTEMS, LOADING CHAMBER

Date of defence

17.06.2010

Result of the defence

Defended (thesis was successfully defended)

znamkaAznamka

Grading

A

Language of thesis

Czech

Faculty

Department

Study programme

Applied Sciences in Engineering (B3901-3)

Field of study

Physical Engineering and Nanotechnology (B-FIN)

Composition of Committee

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Supervisor’s report
doc. Ing. Petr Bábor, Ph.D.

Cílem této práce bylo především vytvořit a realizovat návrh aparatury umožňující zakládání vzorků do depoziční komory Kaufman bez nutnosti zavzdušnění. Vyrobení kompletně celé nové aparatury je finančně náročné. Celkové náklady se pohybují v řádu statisíců korun. Byly proto vytvořeny dva návrhy, které v maximální míře využívají vakuové části dostupné na ÚFI. Nakonec byl realizován druhý návrh, který potenciálně umožňuje přenos vzorků mezi depoziční komorou a analytickými komorami ve vakuovém kufříku. Funkčnost navrhnutého způsobu manipulace s paletkami byla ověřena při atmosférickém tlaku, ale z časových důvodů se nepodařilo zkompletovat celou zakládací aparaturu a připojit ji k depoziční komoře. Kromě transportu vzorku je řešen i návrh ohřevu a chlazení vzorků během depozice. Vzhledem k rozsahu konstrukčních prací, samostatné, aktivní a tvůrčí činnosti autora považuji tuto práci za velmi zdařilou, doporučuji ji k obhajobě a navrhuji hodnocení stupněm A.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání B
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti B
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Grade proposed by supervisor: A

Bakalářská práce popisuje řešení jak zamezit opakovanému napouštění vakuové komory na atmosférický tlak. V první kapitole je stručně popsána historie získávaní vakua a základy kinetické teorie plynů. Zde u všech rovnic chybí číselné označení jež by umožnilo snadnější orientaci při odvozovaní základních vztahů. Další alarmující skutečností je chybějící popis jednotlivých zástupných symbolů v rovnicích. Druhá kapitola práce popisuje stávající stav vakuové aparatury pro přípravu tenkých vrstev metodou IBD. Je zde popsána funkce kaufmanova zdroje a rozmístění části v komoře zdroje. Princip činnosti iontového zdroje není zcela jasný z obrázku 3. Na str. 16 je uvedena hodnota tlaku pro depozici až 10-8 Pa, opravdu je zde tak vysoké vakuum? Na obrázek 4. není odkaz v textu, což se v publikaci opakuje i u dalších obrázků. Na obrázku 7 jsou naznačeny šipky k jednotlivým částem, ale chybí k nim popisky. Na straně 18 je formálně špatně zapsána teplota. Poslední třetí kapitola se zabývá návrhem na modernizaci popisované vakuové komory. Jsou zde popsány dva konstrukční návrhy. Kvalitu odvedené konstrukční práce na prvním návrhu snižuje nedostatečný popis transportu vzorku, přičemž by postačil jednoduchý nákres, který by doprovázel text. Druhému návrhu je věnována vyšší pozornost v textu. Nicméně nepřehlednost je dosti závažná především na str. 23, kde je popsán transport paletky do depoziční polohy. Zde se čtenář rychle ztratí v popisovaných pohybech. Odkazy na objasňující obrázky jsou, až na konci textu. Přičemž by stačilo se odkazovat na jednotlivé obrázky během popisu jednotlivých kroků manipulace. Na str. 27 je pro označení přírub používán pojem světlost, zde bych se přimlouval za označení dle typu (DN, CF, KF).  Na str. 29 se počítá s ohřevem vzorku na 1200oC, což je v rozporu s teplotní odolností kaptonové folie. U návrhu zakládací komory není jasné, zdali autor počítal s umístěním okna, které umožní manipulaci. Publikace je plná  pěkných 3D obrázků ty ,ale nejsou vesměs doplněny popisky. U práce zaměřené na konstrukci bych v příloze uvítal v papírové formě výrobní výkresy. Ke konci práce jsou uvedeny doplňující výpočty prováděné pomocí programu Ansys, které analyzují průhyb magnetické tyče a rozložení tepla na transportní paletce. Samotné konstrukční řešení je velmi vydařené. Jedná o velmi komplikované zařízení pracujícího za nestandardních podmínek. Studen musel řešit spousty složitých problémů spojených se samotnou manipulací vzorku tak i ze zásadami spojenými s konstrukci v UHV. Předně bych chtěl upozornit na zajímavé konstrukční řešení, kdy se využívá samovolného překlopení vzorku o 180o.  Samotnou konstrukční práci studenta považuji za  velmi zdařilou a rozsáhlou, což lze podpořit skutečností že transport vzorku navrženým způsobem byl realizován na vzduchu. Student splnil všechny úkoly zadání. Některé výsledky však mohly být prezentovány přehledněji. Z těchto důvodů doporučuji bakalářskou práci k obhajobě a hodnotím ji stupněm B.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod B
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry B
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti C
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací B
Topics for thesis defence:
  1. 1. Naznačte Maxwellovo rozdělení rychlosti a polohu popisovaných rychlostí v kapitole 1.
  2. 2. Popište princip rotačních průchodek do vakua.
  3. 3. Popište jak byl prováděn výpočet rozložení teplot v programu Ansys (volba okrajových podmínek a to především u simulace chlazení trubkou).

Grade proposed by reviewer: B

Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová