Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Bachelor's Thesis
Author of thesis: Lukáš Lev
Acad. year: 2025/2026
Supervisor: doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D.
Reviewer: prof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc.
This bachelor thesis aims to estimate the virtual source size of a Schottky emitter used in a scanning electron microscope (SEM) in situ. The virtual source size is a crucial parameter in the resolution of SEM. However, it cannot be measured directly and must therefore be inferred from the properties of the electron beam. For this purpose, a measurement method has been proposed, which utilizes the measurement of beam spot size using the knife-edge method. An important topic of this thesis is also the optimization of measurement conditions which were determined using simulations. The results show stability and trustworthy values in the case of one of the measurement planes near the source. This thesis also discusses the limitations of the proposed method and the effect of operating conditions on its reliability.
Scanning electron microscopy, SEM, electron source, electron beam, resolution, virtual source size, Schottky emitter, knife-edge method
Date of defence
16.06.2026
Result of the defence
Defended (thesis was successfully defended)
Grading
A
Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále odpověděl na otázky komise: Jaký je rozdíl mezi zdrojem, který používáte pro charakterizaci a virtuálním zdrojem? Student bez problémů odpověděl. Jak ovlivňuje suppressor emise? Po dvou měsících testování budou trochu jiné vlastnosti, jak tohle ovlivní funkci? Student pohotově odpovídal. Jakou jste používal normu? Student uvedl, jakou normu a program pro citování používal.
Language of thesis
Czech
Faculty
Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Department
Department of Microelectronics
Study programme
Microelectronics and Technology (BPC-MET)
Composition of Committee
doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (předseda) doc. Ing. Ivan Szendiuch, CSc. (člen) Ing. Martin Šťáva, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Alexandr Knápek, Ph.D. (člen)
Supervisor’s reportdoc. Ing. Jiří Háze, Ph.D.
Grade proposed by supervisor: A
Reviewer’s reportprof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc.
Grade proposed by reviewer: A
Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová