Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Master's Thesis
Author of thesis: Bc. Vít Buzek
Acad. year: 2025/2026
Supervisor: Ing. Roman Prokop, Ph.D.
Reviewer: prof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc.
The main focus of this thesis is the study and modeling of the impact of the Well Proximity Effect (WPE) on MOSFET integrated devices. The theoretical part discusses the relevant physical phenomena in nanometer technologies, the fabrication processes used in manufacturing MOSFET transistors, and the available approaches for modeling the WPE effect. The practical section focuses on the design of a dedicated test chip whose purpose is to implement suitable transistor structures enabling systematic measurements of their threshold voltages. The measured data are compared with simulation results in order to evaluate the overall impact of the WPE and to suggest adjustments to the model parameters.
MOSFET transistor, threshold voltage, WPE (Well Proximity Effect), lateral scatter of implanted atoms, ion implantation, SC parameters
Date of defence
09.06.2026
Result of the defence
Defended (thesis was successfully defended)
Grading
A
Process of defence
Student seznámil státní zkušební komisi s řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále odpověděl na otázky komise: Otázka: Jaké parametry modelu jste upravoval pro zlepšení simulace. Student se zaměřil na ovlivnění prahových napětí v závislosti na WPE Otázka: O kolik se podařilo výsledky simulace zlepšit Studen se vyjádřil že výsledky se dají těžko kvantifikovat v hodnotě například procent, ale následně na grafu ukázal oblasti se zlepšením. Student také vysvětlil, proč u různých typů tranzistorů použil různé rozměry.
Language of thesis
Czech
Faculty
Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Department
Department of Microelectronics
Study programme
Microelectronics (MPC-MEL)
Composition of Committee
doc. Ing. Jiří Háze, Ph.D. (předseda) doc. Ing. Aleš Chvála, Ph.D. (místopředseda) prof. Ing. et Ing. Fabian Khateb, Ph.D. et Ph.D. (člen) Ing. Vojtěch Dvořák, Ph.D. (člen) Ing. Alexandr Otáhal, Ph.D. (člen) Ing. Jan Brodský, Ph.D. (člen)
Supervisor’s reportIng. Roman Prokop, Ph.D.
Grade proposed by supervisor: A
Reviewer’s reportprof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc.
Grade proposed by reviewer: A
Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová