Master's Thesis

Development of interferometric calibrator with metre range

Final Thesis 10.29 MB Appendix 2.4 MB

Author of thesis: Bc. Martin Fridrich

Acad. year: 2025/2026

Supervisor: Mgr. Šimon Řeřucha, Ph.D.

Reviewer: Ing. Martin Appel, Ph.D.

Abstract:

This thesis deals with partial task of developing interferometric calibrator for physical standards working with a metre range, focused on mechatronic subsystem of the device. The calibrator is in development at Department of Coherence Optics, of the ISI of the CAS as a proof-of-concept device used to demonstrate the possibility of interferometric measurement with a metre range with uncertainty smaller than one micrometer. The thesis starts with theoretic chapter focused on interferometry for length metrology, its basic principles, basic interferometer configurations and the accuracy limiting factors. Next, the conceptual design of the device is described including the initial state of the machine and electronic modules in use at ISI, that were used for the machine during this work. The thesis then focuses on development of the initial design, creation of the final CAD model and the manufacturing documentation, realization of the prototype and first test for characterisation of the device. The following part describes modifications made in a pursuit of higher accuracy, the developed software modules and repeated tests of the device after modification showing more than a threefold improvement of the interferometric measurement linearity. The last part of the thesis is focused on demonstration of an end standard and the uncertainty budget assesment.

Keywords:

Laser interferometry, calibrator, length metrology, geometry-induced error, end standard

Date of defence

18.06.2026

Result of the defence

Defended (thesis was successfully defended)

znamkaAznamka

Grading

A

Process of defence

Při obhajobě student nejprve prezentoval svoji diplomovou práci, následně byly přečteny posudky a student odpovídal na dotazy oponenta. Poté byly členy komise položeny následující otázky: Vysvětlete tuhost měřícího systému Jaké programovací jazyky jste volil? Jak byly definované požadavky na výsledné zařízení? Obhajoba byla komisí hodnocena jako výborná.

Language of thesis

Czech

Faculty

Department

Study programme

Mechatronics (N-MET-P)

Composition of Committee

RNDr. Vladimír Opluštil (předseda)
doc. Ing. Robert Grepl, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. Jiří Krejsa, Ph.D. (člen)
Ing. Dalibor Červinka, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radoslav Cipín, Ph.D. (člen)
Ing. Michal Bastl, Ph.D. (člen)
Ing. Peter Zavadinka, Ph.D. (člen)

Supervisor’s report
Mgr. Šimon Řeřucha, Ph.D.

Student se v diplomové práci zabývá vývojem interferometrického délkového kalibrátoru s metrovým rozsahem určeného pro kalibraci fyzických etalonů délky a přesných skleněných pravítek. Práce vznikla v přímé spolupráci s oddělením Koherenční optiky ÚPT AV ČR. Rešeršní část pokrývá základy laserové interferometrie na odpovídající úrovni a její zpracování je vhodné i jako úvodní studijní materiál pro příchozí studenty skupiny. Jádro práce tvoří návrh, realizace a experimentální charakterizace přístroje. Student převzal počáteční ideu ze strany ÚPT a rozvinul ji do funkčního vzorku zařízení včetně výkresové dokumentace. Po systematické analýze geometrických chyb vedení a sérii cílených konstrukčních vylepšení dosáhl zlepšení shody škály z výchozích 1,27 μm na 102 nm peak-to-peak s kompenzací, tedy více než desetinásobného zlepšení. Sestavil rovněž rozpočet nejistot pro odměřování polohy i měření délkového standardu a vyvinul obslužný software přístroje včetně dvou pomocných modulů s přímou využitelností v laboratoři. Grafická úprava je funkční a účelná (nedostatkem jsou pouze jednopísmenná slova na koncích řádků), literatura je zpracována pečlivě a důsledně. Průběh prací hodnotím jako mimořádný — student pracoval systematicky, proaktivně a s nasazením překračujícím rámec zadání.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Grade proposed by supervisor: A

Reviewer’s report
Ing. Martin Appel, Ph.D.

Diplomová práce Martina Fridricha se věnuje vývoji interferometrického délkového kalibrátoru s metrovým rozsahem, konkrétně mechatronickému subsystému zařízení vyvíjeného na ÚPT AV ČR. Téma je technicky velmi náročné, protože propojuje přesnou mechaniku, optickou metrologii, řízení pohonu, zpracování dat a stanovení nejistot.

Velmi kladně hodnotím, že práce nekončí pouze návrhem, ale vede k reálně sestavenému a opakovaně testovanému zařízení. Student rozpracoval výchozí koncept do CAD modelu a výrobní dokumentace, sestavil funkční vzorek, zprovoznil pohon a vytvořil obslužný software. Součástí práce jsou také pomocné softwarové moduly pro kalibraci environmentálních jednotek a integraci měřicích přístrojů ALMEMO do sítě CAN.

Za nejsilnější část práce považuji experimentální charakterizaci a následné úpravy zařízení. Student identifikoval vliv parazitních náklonů pohyblivého mostu, navrhl a realizoval úpravy mechaniky, doplnil převodovku, upravil předpruženou platformu a navrhl volné uložení kuličkové matice. Výsledkem je zlepšení shody interferometrů z přibližně 1,27 mikrometru na 344 nm a po geometrické kompenzaci až na přibližně 102 nm peak-to-peak.

Z konstrukčního hlediska mě mrzí, že nebylo možné pořídit základovou desku, která měla zajišťovat tuhost celého zařízení. Zvolená konstrukce z profilů je podle mě nešťastný kompromis. Bylo by vhodnější desku nechat vyrobit, případně využít jinou dostupnou tuhou desku určenou pro podobné účely. Naštěstí je v práci dále uvedeno, že profilová konstrukce je pevně uchycena k laboratornímu stolu. Tím se problém částečně řeší, ale zařízení je podle mě v současném stavu prakticky nepřenosné.

Líbí se mi vyřešení parazitního náklonu návrhem volného uchycení kuličkové matice. Jako oponent bych ale uvítal podrobnější porovnání s alternativním řešením, například uchycením matice přímo k vodicí kostce pomocí jedné rotační vazby. Pokud vrchní deska umožňuje přenos krutu od matice, nabízelo by se také uvažovat o tužší desce nebo uchycení blíže k vodicí tyči.

Práce má jasný praktický přínos pro další vývoj metrologického zařízení na ÚPT. Oceňuji také, že autor neskrývá limity současného stavu. V práci je uveden ambiciózní cíl dosáhnout nejistoty 50 nm na 1 m délky. Dosažená shoda interferometrů po kompenzaci je tomuto cíli výrazně blíže, ale demonstrační měření koncového standardu ukazuje, že pro rutinní použití bude nutná další charakterizace a zlepšení postupu měření. To ale odpovídá tomu, že práce řeší proof-of-concept zařízení a nikoliv hotový certifikovaný kalibrátor.

Celkově hodnotím práci jako velmi kvalitní diplomovou práci s výrazným praktickým a experimentálním přínosem. Student prokázal schopnost pracovat na reálném výzkumném zařízení, analyzovat zdroje chyb a navrhovat konkrétní technická zlepšení. Práci doporučuji k obhajobě.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Topics for thesis defence:
  1. U demonstračního měření koncového standardu uvádíte rozptyl výsledků přibližně 2,8 mikrometru mezi 15 měřeními. Který vliv podle Vás nejvíce přispívá k této opakovatelnosti a jaký konkrétní krok byste zvolil jako první pro její zlepšení?
  2. Uvažoval jste i jiné řešení uchycení kuličkové matice, například uchycení přímo k vodicí kostce pomocí jedné rotační vazby? Jaké výhody a nevýhody má Vámi zvolené volné uložení oproti této variantě?

Grade proposed by reviewer: A

Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová