Master's Thesis

Probe microscopy with assisting electron beam

Final Thesis 5.92 MB

Author of thesis: Ing. Filip Ulč

Acad. year: 2025/2026

Supervisor: prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D.

Reviewer: Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.

Abstract:

This master's thesis focuses on explaining the physical behavior and fundamental principles of a new method, EBC-AFM (Electron-Beam Enhanced Conductive Atomic Force Microscopy), which is essential for correctly interpreting measurements. The main goal of the thesis is to theoretically explain the measurement principle and to validate it experimentally. The thesis presents a macroscopic model based on the law of charge conservation, which links the emission of backscattered and secondary electrons to the current flowing through the probe tip. The theoretical assumptions were first tested on an isolated gold reference structure. This step verified how basic electron microscope parameters and the geometric setup affect the measured current. The findings were then applied to characterize semiconductors (Ge, InAs, SiC) and to map a 3D NAND memory and an AlGaN/GaN heterostructure. Furthermore, using a back-gate bias helped overcome the surface oxide layer, thereby increasing the measured current. In addition, studying dislocations in the AlGaN/GaN heterostructure showed the technique's ability to capture dynamic changes in the material while simultaneously detecting the measured current and secondary emission. The thesis thus maps and explains in detail the physical phenomena that occur during measurement, providing the necessary theoretical and experimental foundation for future use of this technique.

Keywords:

EBC-AFM, Litescope, SEM, C-AFM, electron emission, Back-gate effect, GaN

Date of defence

15.06.2026

Result of the defence

Defended (thesis was successfully defended)

znamkaAznamka

Grading

A

Process of defence

Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Bylo by možné použít i taping mód a použít jiné typy hrotů. Souvislost měřeného proudu s dopováním SiC. Šlo by provádět hloubkové profilování. Student na otázky odpověděl.

Language of thesis

English

Faculty

Department

Study programme

Physical Engineering and Nanotechnology (N-FIN-P)

Composition of Committee

prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. Mgr. Dominik Munzar, Dr. (člen)
doc. Mgr. Adam Dubroka, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Petráček, Dr. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)

Diplomová práce Filipa Ulče se zabývá úplně novým přístupem k analýze polovodičů pomocí rastrovací sondy. Absence teoretického modelu měření a neexistující experimentální know-how postavily studenta před složitý problém, se kterým se v práci bravurně vypořádal. Pečlivě prováděl nutná rutinní měření, která sám navrhnul, včetně originálního designu vzorků a měřících strategií. Díky těmto experimentům se mu podařilo postupně budovat porozumnění fyzikálním dějům, ke kterým během měření dochází. Je nutné zdůraznit, že student pracoval zcela samostatně, společně jsme zejména kriticky hodnotili jím navržený další postup. Filip se zcela ponořil do problému, byl vyjímečně iniciativní a neustále přicházel s novými nápady a hypotézami. Prokázal velký cit pro experimentální práci, zejména díky hlubokému porozumnění funkčnímu principu Litescopu. Získaná data jsou zcela unikátní, velmi cenná a poslouží jako základ chystané publikace.

Velmi si cením toho, že student stihl práci sepsat včas, přestože se i přes má upozornění pustil do psani poměrně pozdě. Text je místy moc hutný a čtenářsky náročný, což ovšem zrcadlí jak komplikovanost zatím stále ne zcela vyřešeného problému, tak i osobnost autora. Do textu jsem zasahoval pouze minimálně. Práce splňuje veškeré náležitosti kladené na diplomovou práci a je mi potěšením doporučit práci k obhajobě. 

  
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosažené výsledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis B
Práce s literaturou včetně citací A
Samostatnost studenta při zpracování tématu A

Grade proposed by supervisor: A

Reviewer’s report
Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.

Práce se zaměřuje na pochopení principů fungování nové metody určené pro měření lokálních vlastností polovodičů, EBC-AFM - vodivostní mikroskopie atomárních sil využívající elektronového svazku jako zdroje elektronů. Jedná se o velmi pokročilou mikroskopickou metodu kombinující výhody elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil, s potenciálem v oblasti polovodičů i materiálového výzkumu a je velmi dobré, že probíhají snahy o její lepší teoretické i experimentální uchopení. V práci jsou popsány teoretické základy metody a je prezentována řada experimentů zaměřujících se na studium vlivu jednotlivých parametrů měření na výsledky měření. Autor využil různé speciální mikrostruktury aby bylo možné odlišit jednotlivé chybové vlivy a metodu aplikoval na různé typy polovodičů, experimenty dobře zdokumentoval a interpretoval je srovnáním s předpoklady z literatury či s numerickými modely. Pro některé složitější vzorky nebyla interpretace snadná, nicméně oceňuji, že autor v práci prezentuje i problematická data, poukazuje na slabiny porovnání výsledků měření s teoretickými modely a navrhuje další směry výzkumu, které by mohly nově vzniklé otázky objasnit. Je třeba zdůraznit, že dobře zdokumentované problémy při měření můžou být pro další výzkum a využití metody velmi hodnotným zdrojem, protože se v odborné literatuře zpravidla nediskutují tak podrobně, jako úspěchy. Z tohoto pohledu by v práci mohlo být uvedeno experimentálních a praktických detailů i podstatně více (například typ AFM hrotů v jednotlivých experimentech, rychlost měření, apod.). I přes tuto výtku je po formální stránce je práce sepsána velmi pečlivě a srozumitelně a může tak být velmi dobrým základem pro další výzkum v oblasti metody EBC-AFM. Práci proto doporučuji k obhajobě a hodnotím nejlepší možnou známkou.
Evaluation criteria Grade
Splnění požadavků a cílů zadání A
Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod A
Vlastní přínos a originalita A
Schopnost interpretovat dosaž. výsledky a vyvozovat z nich závěry A
Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii A
Logické uspořádání práce a formální náležitosti A
Grafická, stylistická úprava a pravopis A
Práce s literaturou včetně citací A
Topics for thesis defence:
  1. V práci se diskutuje vzdálenost elektronového svazku od AFM hrotu. Setkal jste se s případem, kde by měl na výsledek i směr, kterým je elektronový svazek vůči hrotu posunut, například ve formě nějaké umělé vyvolané anizotropie ve výsledných datech, která by jinak něměla být přítomna?
  2. Bylo by možné elektronovým svazkem skenovat nezávisle na hrotu AFM? Mohlo by to zlepšit stabilitu měření tím, že by svazek dopadal na stále stejné místo a materiál (i kdyby se musela provádět nějaká korekce na proměnlivou vzdálenost mezi svazkem a hrotem)?
  3. Bylo by možné namísto co nejmenšího svazku elektronového mikroskopu v určité vzdálenosti od hrotu použít širší svazek, který by zasahoval i AFM hrot (například s využitím cantileveru s viditelným hrotem, kde by efekt stínění nebyl tak velký)? Mohlo by to zjednodušit interpretaci výsledků tím, že by mohl proud téct všemi směry obdobně jako u C-AFM s kontaktem na zadní straně vzorku?
  4. S jakými sondami a s jakými silami mezi hrotem a povrchem jste měření prováděl? Bylo nutné využívat velkých sil jako u SSRM, nebo bylo měření stabilní i s menšími silami?

Grade proposed by reviewer: A

Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová