Přístupnostní navigace
E-application
Search Search Close
Master's Thesis
Author of thesis: Bc. Jozef Štálnik
Acad. year: 2025/2026
Supervisor: Ing. Petr Viewegh, Ph.D.
Reviewer: Ing. Jiří Babocký, Ph.D.
Main goal of this thesis was to conduct a research on multilayer optical metasurfaces and subsequently fabricate them using nanofabrication methods. The first chapter introduces the theoretical background and provides an overview of the physical principles of dielectric metasurfaces. The second chapter presents short review section motivating the study of multilayer metasurfaces. The third chapter discusses fabrication methods for the preparation of single-layer and double-layer metasurfaces. The final chapter presents the results of the fabrication of double-layer metasurfaces, where the main optimization step involved the removal of the polymer resist. In addition, the results of the fabrication and optical characterization of metapolarimeter are presented.
dielectric metasurface, multilayer metasurface, bilayer metasurface, fabrication, electron beam lithography, atomic layer deposition, dry etching
Date of defence
16.06.2026
Result of the defence
Defended (thesis was successfully defended)
Grading
A
Process of defence
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Rozdíl reaktivního iontového leptání O2 a mikrovlnného leptání s plazmou O2. Důvody nevhodnosti mokrého leptání. Měření mechanické odolnosti prvků. Student na otázky odpověděl.
Language of thesis
English
Faculty
Fakulta strojního inženýrství
Department
Institute of Physical Engineering
Study programme
Physical Engineering and Nanotechnology (N-FIN-P)
Composition of Committee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. Mgr. Dominik Munzar, Dr. (člen) doc. Mgr. Adam Dubroka, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Petráček, Dr. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Supervisor’s reportIng. Petr Viewegh, Ph.D.
Grade proposed by supervisor: A
Reviewer’s reportIng. Jiří Babocký, Ph.D.
Grade proposed by reviewer: B
Responsibility: Mgr. et Mgr. Hana Odstrčilová