Applied result detail

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

PEKÁREK, J.; MAGÁT, M.

Original Title

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

English Title

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

Type

Functioning sample

Abstract

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Abstract in English

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Keywords

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

Key words in English

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

Location

Laboratoř T10-N0.67

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/funkcni-vzorky/pekarek-fv-pvdholder.pdf