Applied result detail

Pole TiO2 nanosloupků pro senzorické aplikace

SOLOVEI, D.; PYTLÍČEK, Z.; BENDOVÁ, M.; HUBÁLEK, J.

Original Title

Pole TiO2 nanosloupků pro senzorické aplikace

English Title

Arrays of TiO2 nanopillars for sensor applications

Type

Functioning sample

Abstract

Senzor plynů je založený na TiO2 nanostrukturách. Na povrchu TiO2 vrstvy se nachází uspořádaná struktura TiO2 nanosloupků o délce v rozmezí 120–400 nm v závislosti na parametrech anodizace. Takto modifikovaný povrch vykazuje vysoké citlivosti v detekci plynů díky zvýšenému povrchu rekogničního převodníku oproti planárnímu nestrukturovanému povrchu. Následující SEM obrázky zobrazují citlivou vrstvu shora a pod úhlem přibližně 45 stupňů. Uvedené snímky odpovídají struktuře o délce 120–170 nm, šířce 35–70 nm a jejich vzájemné vzdálenosti 110 nm, vyrobených anodickou oxidací přes samouspořádanou masku Al2O3.

Abstract in English

The developed gas sensor is based on nanostructured TiO2 layers, covered by a self-assembled array of TiO2 nanopillars of 120 to 400 nm length, depending on anodization parameters. The TiO2 surface modified in this way shows higher sensitivity in gas detection owing to increased surface area of the active layer compared with that of planar unstructured surface. Following SEM images show a sensitive TiO2 surface from top and from a side and correspond to nanopillars 120–170 nm long, 35–70 nm broad, and of mutual distance of 110 nm, grown by anodic oxidation through a self-assembled Al2O3 mask.

Keywords

gas sensing, nanostructured TiO2 surface, TiO2 nanopillars, anodic oxidation

Key words in English

gas sensing, nanostructured TiO2 surface, TiO2 nanopillars, anodic oxidation

Location

LabSensNano T10-N0.66

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)

www