Patent detail

Zařízení k provádění depozice mikroelektrod čipů, rozmístěných na desce, pomocí chemických roztoků

HUBÁLEK, J.

Patent type

Utility model

Abstract

Užitný vzor depozičního zařízení pro vytváření nanostruktur elektrochemickými nebo chemickými metodami. Zařízení provádí poziciování pomocí 3D systému a provádí lokální modifikace čipů nanostrukturami na nerozřezaném waferu.

Keywords

elektrochemické a chemické depozice, nanostruktury

Patent number

20398

Date of application

9. 11. 2009

Date of registration

4. 1. 2010

Publisher

Patentový úřad Brno

Owner

VUT

Possibilities of use

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

Licence fee

The licensor does not require a license fee for the result