Applied result detail

Zařízení pro anodické pájení

HÁZE, J.; PAVLÍK, M.; PEKÁREK, J.; VRBA, R.; VLACH, R.; MAGÁT, M.

Original Title

Zařízení pro anodické pájení

English Title

Anodic bonding device

Type

Prototype

Abstract

Zařízení je určené pro anodické pájení v laboratorních podmínkách. Slouží k výrobě součástek MEMS. Zařízení je schopné vyrobit tři vzorky součástek současně.

Abstract in English

Anodic bonding device serves as laboratory device for MEMS fabrication. The device is able to fabricate three MEMS devices simultaneously.

Keywords

anodic bonding, MEMS

Key words in English

anodic bonding, MEMS

Location

Technická 10 - 0.67

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)