Applied result detail

Softwarová analýza vlivu tvaru hrdla v diferenciálně čerpané komoře na čerpání plynu.

MAXA, J.; NEDĚLA, V.

Original Title

Softwarová analýza vlivu tvaru hrdla v diferenciálně čerpané komoře na čerpání plynu.

English Title

Software analysis of gas flow in differentially pumped chamber debuged on platform Solidworks.

Type

Software

Abstract

Softwarová analýza proudění plynů u navržených tvarů kužele diferenciálně čerpané komory environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu s ohledem na optimalizaci podmínek pro průchod primárního svazku elektronů. Analýza je odladěná na platformě Solidworks.

Abstract in English

Software analysis of gas flow in proposed designs of differentially pumped chamber of an environmental scanning electron microscope.The analysis is oriented to optimization of conditions for transit of primary electron beam in this chamber and is debuged on the platform Solidworks.

Keywords

electron microscopy, differentially pumped chamber, ESEM

Key words in English

electron microscopy, differentially pumped chamber, ESEM

Location

VUT, FEKT, UETE, Údolní 53, Brno, 602 00

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)

www

http://www.uete.feec.vutbr.cz