Applied result detail

Funkční vzorek pro analýzy vlivů velikosti a tvarů otvorů clonek při čerpání plynů pro vytvoření vakua.

MAXA, J.; JIRÁK, J.; NEDĚLA, V.

Original Title

Funkční vzorek pro analýzy vlivů velikosti a tvarů otvorů clonek při čerpání plynů pro vytvoření vakua.

English Title

Functional analysis of the effects of sample size and shape of the opening aperture when pumping gas for creating a vacuum.

Type

Functioning sample

Abstract

Zařízení pro analýzy proudění plynů s různými variantami clonek pro zařízení enviromentálního rastovacího elektronévého mikroskopu. Především diferenciálně čerpané komory a scintilačního detektoru s ohledem na optimalizaci podmínek pro průchod elektronů v návaznosti na předchozích analýzách systémem využívající metodu konečných objemů.

Abstract in English

Equipment for analysis of gas flow apertures for different variants of the scintillation detector, with a view to optimizing the conditions for the passage of secondary electrons, following the earlier analysis system using the method of finite volumes.

Keywords

ESEM, scintillation SE detector, electron microscopy

Key words in English

ESEM, scintillation SE detector, electron microscopy

Location

Ústav Přístrojové techniky AV ČR; Královopolská 147; 612 64 Brno

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)