Product detail

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro EREM se dvěma tlak omezujícími clonami

JIRÁK, J. NEDĚLA, V. ČUDEK, P. MAXA, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Scintilační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Scintilátor detektoru je umístěn v prostoru, odděleném od komory mikroskopu dvěma tlak omezujícími clonami, jednotlivé prostory detektoru jsou samostatně vakuově čerpány, což umožňuje dosáhnout tlak u scintilátoru řádově jednotek Pa při tlaku v komoře vzorku 1000 Pa. Tlak jednotek Pa dovoluje přivést na scintilátor napětí až 10 kV, potřebné k vybuzení scintilací. K tlak omezujícím clonám je přiloženo napětí řádově stovek voltů a jsou využity jako elektrostatická čočka pro směrování drah sekundárních elektronů ke scintilátoru.

Keywords

Scintilační detektor sekundárních elektronů, environmentální rastrovací elektronová mikroskopie

Create date

18. 6. 2009

Location

EREM Aquasem, ÚPT AV ČR Královopolská 147, 612 64 Brno.

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.uete.feec.vutbr.cz