Applied result detail

IonProfile

BÁBOR, P.; DUDA, R.; ŠIKOLA, T.; PAVERA, M.; POLČÁK, J.

Original Title

IonProfile

English Title

IonProfile

Type

Software

Abstract

Soubor programů umožňující řízení hloubkových profiloměrů SIMS, TOF-LEIS a XPS. Jsou zde zahrnuty programy pro zpracování a simulace měřených dat metodou TOF-LEIS.

Abstract in English

Software package for controlling of SIMS, TOF-SIMS and XPS profilometers. It includes software for evaluation and simulation of TOF-LEIS measured data.

Keywords

SIMS, XPS, TOF, LEIS, profilování, simulace, odprašování, ionty

Key words in English

SIMS, XPS, TOF, LEIS, profiling, simulation, sputtering, ions

Location

Laboratoř 518

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

www

http://physics.fme.vutbr.cz/ufi.php?Action=0&Id=1854