Applied result detail

Segmentový ionizační detektor pro EREM

JIRÁK, J.; ČERNOCH, P.

Original Title

Segmentový ionizační detektor pro EREM

English Title

Segmental ionization detector for ESEM

Type

Functioning sample

Abstract

Detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM) pracující na principu zesílení signálu elektronů nárazovou ionizací v plynném prostředí v komoře vzorku. Napětí přikládané k segmentům detektoru vytváří elektrické pole potřebné pro vyvolání nárazové ionizace, volba segmentu pro detekci signálu umožní měnit podíl zpětně odražených elektronů v detekovaném signálu (velikost materiálového kontrastu v obraze vzorku).

Abstract in English

Detector for environmental scanning electrone microscope (ESEM) based on amplication of signal electrons at the process of impact ionization in the gaseous environment. Voltage on segments of the detector creates electric field necessary for impact ionization, selection of the segment used for signal detection changes ratio of backscattered electrons in detected signal (material contrast in the image of the specimen).

Keywords

Segmental ionization detector, ESEM

Key words in English

Segmental ionization detector, ESEM

Location

EREM Aquasem, ÚPT AVČR Královopolská 147, 612 64 Brno.

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)

www

http://www.uete.feec.vutbr.cz