Product detail

Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice

HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.

Keywords

galvanická depozice, anodizace, modifikace nanostrukturami

Create date

1. 12. 2008

Location

U7

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek