Applied result detail

Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice

HUBÁLEK, J.

Original Title

Zařízení pro automatické lokální chemické a elektrochemické depozice

English Title

Unit for automatic local chemical and electrochemical depositions

Type

Functioning sample

Abstract

Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.

Abstract in English

Zařízení umožňuje lokální (elektro-)chemické depozici tenkých vrstev a nanostruktur na tenkovrstvých mikrosystémech hlavně na senzorech. Poziční jednotka provádí depozice na přesné pozici. Čerpadlo umožňuje výměnu depozičního roztoku v depoziční hlavě.

Keywords

galvanická depozice, anodizace, modifikace nanostrukturami

Key words in English

galvanická depozice, anodizace, modifikace nanostrukturami

Location

U7

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license