Applied result detail

Počítačově řízený UHV manipulátor pro automatické měření spekter XPS.

POLČÁK, J.; BÁBOR, P.; ŠIKOLA, T.; ČECHAL, J.

Original Title

Počítačově řízený UHV manipulátor pro automatické měření spekter XPS.

English Title

Computer controlled UHV manipulator for automatic measurement of XPS spectra.

Type

Functioning sample

Abstract

UHV manipulátor s řídicí jednotkou. Elektronické ovládání polohy (osa y), polární a azimutální rotace. Ruční posuv v horizontální rovině (osa x). Software pro automatické měření polohově a úhlově závislých spekter XPS.

Abstract in English

UHV manipulator equipped with an electronic control unit. Vertical movement (y-axis), polar and azimuthal rotations controlled by the unit. Horizontal transverse (x-axos) controlled by hand. Software for automatic measurement of y-axis and angle resolved XPS spectra.

Keywords

UHV manipulátor, ARXPS, ultra tenké vrstvy, automatické měření

Key words in English

UHV manipulator, ARXPS, ultra thin films, automatic measurement

Location

A2/518

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)

www

http://www.physics.fme.vutbr.cz/