Product detail

Počítačově řízený UHV manipulátor pro automatické měření spekter XPS.

POLČÁK, J. BÁBOR, P. ŠIKOLA, T. ČECHAL, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

UHV manipulátor s řídicí jednotkou. Elektronické ovládání polohy (osa y), polární a azimutální rotace. Ruční posuv v horizontální rovině (osa x). Software pro automatické měření polohově a úhlově závislých spekter XPS.

Keywords

UHV manipulátor, ARXPS, ultra tenké vrstvy, automatické měření

Create date

28. 1. 2008

Location

A2/518

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www