Product detail

Wienův filtr - zařízení pro hmotnostní selekci iontových svazků

VOBORNÝ, S. POKORNÝ, J. JÁNSKÝ, P. ŠIKOLA, T.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení sestává z elektromagnetického obvodu, který uvnitř vakuové trubice, umístěné na dráze iotového svazku, vytváří zkřížené homogenní elektrické a magnetické pole. Vhodným nastavením intenzity elektrického pole a magnetického pole permanentního magnetu lze separovat nežádoucí nečistoty z iontového svazku (především kyslík a uhlík). Zařízení lze provozovat na plovoucím potenciálu. Napětí na elektrodách je řízeno počítačem pomocí vlastního software.

Keywords

hmotnostní filtr, hmotnostní separace, iontové svazky, nečistoty, tenké vrstvy

Create date

1. 12. 2008

Location

A2/518

Possibilities of use

Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www