Result with impact on practice detail

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

VRBA, R., FICEK, R.

Original Title

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

English Title

New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement

Type

Research report

Original Abstract

Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku

English abstract

New methods and structures for MEMS and nanotechnologies applications in pressure measurement

Key words in English

MEMS, nanotechnology, pressure sensor, measurement

Authors

VRBA, R., FICEK, R.

Released

15.12.2006

Publisher

MPO ČR

Location

Buchlovice

Edition

1

Pages count

14

BibTex

@techreport{BUT57521,
  author="Radimír {Vrba} and Richard {Ficek}",
  title="Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku",
  year="2006",
  publisher="MPO ČR",
  address="Buchlovice",
  series="1",
  pages="14"
}