Publication result detail

Spojení tenkých vrstev s keramikou nízkých teplot

KOSINA, P.; HEJÁTKOVÁ, E.; ŠANDERA, J.

Original Title

Spojení tenkých vrstev s keramikou nízkých teplot

English Title

Integration thin layer with Low Temperatur Co-fired Ceramics

Type

Paper in proceedings (conference paper)

Original Abstract

Článek popisuje spojení tenkých vrstev s keramikou nízkých teplot (LTCC). Tenké vrstvy byly realizováný vakuovým napařováním.

English abstract

The paper is focuses on integration thin layers with Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC). The thin layers were realized Physical Vapour deposition (PVD).

Keywords

LTCC, tenké vrstvy, stříbro, prokovy

Key words in English

LTCC, thin layers, silver, interconnections

Authors

KOSINA, P.; HEJÁTKOVÁ, E.; ŠANDERA, J.

RIV year

2010

Released

02.09.2008

Publisher

Vysoké Učení Technické v Brně

Location

Vysoké Učení Technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologii

ISBN

978-80-214-3709-8

Book

Sborník přízpěvků konference Zvůle 2008

Pages from

99

Pages to

102

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT26928,
  author="Petr {Kosina} and Edita {Hejátková} and Josef {Šandera}",
  title="Spojení tenkých vrstev s keramikou nízkých teplot",
  booktitle="Sborník přízpěvků konference Zvůle 2008",
  year="2008",
  number="1",
  pages="99--102",
  publisher="Vysoké Učení Technické v  Brně",
  address="Vysoké Učení Technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologii",
  isbn="978-80-214-3709-8"
}