Publication result detail

Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.

KONVALINA, I.; MÜLLEROVÁ, I.

Original Title

Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.

Type

Paper in proceedings (conference paper)

Original Abstract

Práce se zabývá modelováním sběrové účinnosti Everhart-Thornley-ho (ET) detektoru sekundárních elektronů (SE). Cílem je studovat vlivy elektromagnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu a modelovat transport částic v oblasti vzorku za účelem optimalizace jednotlivých modulů trasy.

Keywords

sběrová účinnost, sekundární elektrony, ET detektor

Authors

KONVALINA, I.; MÜLLEROVÁ, I.

Released

11.03.2004

BibTex

@inproceedings{BUT21743,
  author="Ivo {Konvalina} and Ilona {Müllerová}",
  title="Účinnost sběru sekundárních elektronů v REM.",
  year="2004"
}