Applied result detail

Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm

PEKAŘ, V.; BŘEZINA, J.; ŠKODA, D.; OHLÍDAL, I.; VOHÁNKA, J.; FRANTA, D.; FRANTA, P.; OHLÍDAL, M.; ŠULC, V.; KLAPETEK, P.; HAVLÍČEK, M.

Original Title

Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm

English Title

Antireflection coating on the substrate in specification: T>=99,8 % at 248 nm and T>=98,5 % at 213 nm.

Type

Functioning sample

Abstract

Antireflexní vrstvy vyrobené kombinací vysokoindexového materiálu Al2O3 a nízkoindexového materiálu SiO2 splňující následující specifikace v hluboké ultrafialové oblasti, vrstva 1: T>=99,8 % @248 nm, vrstva 2: T>=98,5 % @213 nm

Abstract in English

Antireflection coating layers fabricated in combination of high index Al2O3 and low index SiO2 materials with following specification in deep ultraviolet region, design 1: T>=99,8 % at 248 nm and design 2: T>=98,5 % at 213 nm

Keywords

DUV Coating; High transmission; Al2O3, SiO2

Key words in English

DUV Coating; High transmission; Al2O3, SiO2

Location

Meopta – optika, s.r.o. Kabelíkova 2682/1 750 02 Přerov

Licence fee

Use of the result by another entity is possible without acquiring a license (the result is not licensed)