Funkční vzorek kryogenního manipulátoru

Functional sample of cryogenic manipulator

Functioning sample

Teoreticky popsaný a experimentálně realizovaný mikrogripper založený na technologii MEMS (mikro-elektromechanický systém) dovoluje velmi přesné zachytávání mikroobjektů (částí vzorků pro rastrovací elektronovou mikroskopii) s lepší než mikrometrovou přesností. Zařízení obsahuje mikromanipulátor z monolitického křemíku s dvěma dlouhými rameny (statickým a pohyblivým) zakončené ostrými čelistmi. Pohyblivé přepákované rameno je aktuováno piezoelektrickým čipem. Křemíková část tohoto zařízení je vyrobena optickou litografií a hlubokým reaktivním iontovým leptáním.

The theoretically proposed and experimentally realized microgripper based on MEMS (micro-electromechanical system) technology allows high-accurate gripping of micro-objects (SEM sample chunks) with submicron precision. The device contains a monolithic silicon micromanipulator with two long arms (static and movable) ending in sharp jaws. The movable lever arm is actuated by a piezoelectric chip. Silicon part of the device is fabricated using optical lithography and deep reactive ion etching.

MEMS, microgripper, piezo chip, micromanipulation

MEMS, microgripper, piezo chip, micromanipulation

Purkyňova 123, Brno, 612 00

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license