Elektrodové pole paralelnich nano-kontaktů pro selektivni kontaktování nanodrátů určené pro senzorické aplikace - 1. generace

Electrode array of paralel nano-contacts for selective nanowires alignment designed for sensors aplications - 1. generation

Functioning sample

Elektrodové pole paralélních nano-kontaktů je vhodné pro kontaktovaní různých druhů nanodrátů délky větší než 3 µm a průměry do 300 nm. Tento čip s rozměry 5 x 5 mm obsahuje celkem 4 elektrodove pole s různým počtem kontaktovacích elektrod. Pomocí využití metody tzv. dielektroforézy je možné kontaktovat každé z elektodového pole jiným druhem nanodrátu a tak vytvořit vysoce citlivý selektivní chemický senzor. Čip je dostupný ve dvou modifikacich. První modifikace obsahuje elektrodový systém navržený pouze na dvouelektrodovém rezistivním měření. Druhá obsahuje třetí utopenou elektrodu, která umožňuje modulaci měření odezvy sensoru na principu FET (Field Effect Transistor).

The electrode array of parallel contacts is suitable for alignment of different kinds of nanowires with more than 3 µm length and 300 nm in diameter. A chip (5 x 5 mm) obtain 4 electrode arrays in total with a different number of the electrodes. A dielectrophoresis method is used to contact each electrode array with another kind of nanowire and develop a highly sensitive and selective chemical sensor. The chip is available in two topology modification. The first contains two electrode system designed for a resistive type of measurement. Second modification contains buried electrode which serves for modulation of the response of the sensor based on FET principle (Field Effect Transistor).

electrode array, nano-contacts, nanowires, sensor applications

electrode array, nano-contacts, nanowires, sensor applications

LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika).

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

http://labsensnano.umel.feec.vutbr.cz/admin/editProducts.aspx?id=137&files=pro137