100 pixelový MEMS s bolometry

100 pixels MEMS with bolometers

Functioning sample

Design řádkového detektoru pro snímání IR záření byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Ukázka designu je zobrazena na obrázku níže vlevo. Bylo vytvořeno 100 měřicích bolometrů (pixelů) a 10 referenčních. Membrány bolometru (jednotlivé pixely) slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena (viz snímek z optického mikroskopu vpravo).

The design of the line detector for IR sensing was generated using the scripting code in the NanoLithography Toolbox. A sample of the design is shown in the image below on the left. 100 bolometers (pixels) for measurement and 10 reference bolometers were created. Bolometer membranes (individual pixels) are used to detect IR radiation and are made on a silicon substrate using CMOS compatible processes. The most important sensing part is made of a membrane (SiO2) inside which is integrated a resistance temperature detector (Ti). When the IR radiation falls on the sensor element, it will heat up, causie a change of resistance. Heat losses to the substrate are minimized due to the thin legs on which the membrane is suspended.

Bolometer, row, 100 pixels, IR radiation

Bolometer, row, 100 pixels, IR radiation

Laboratoř 0.67 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=132

a2017_100 pixelový MEMS s bolometry (1)