Publication detail

THE IMPACT OF CRITICAL FLOW IN DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER

HLAVATÁ, P. BAYER, R.

Original Title

THE IMPACT OF CRITICAL FLOW IN DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER

English Title

THE IMPACT OF CRITICAL FLOW IN DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), který je konstruován pro vysoký tlak plynů v komoře vzorku namísto vakua, umožňuje studovat vzorky obsahující vodu nebo živé biologické vzorky bez nutnosti jejich speciální úpravy. To z důvodu, že mezi komoru vzorku a tubus je vložena diferenciálně čerpaná komora. Vzhledem k velkým tlakovým spádům u této konstrukce dochází při čerpání plynu k nadzvukovému proudění za clonou oddělující komoru vzorku od diferenciálně čerpané komory. To se projevuje specifickým jevem kritického proudění ve cloně a poklesem tlaku v proudu v nadzvukové oblasti. Vhodnou konstrukční úpravou je možné využít daný jev a docílit snížení průměrného tlaku plynu ve dráze primárního svazku. To má za následek snížení rozptylu primárního svazku a zvýšení ostrosti výsledného obrazu.

English abstract

Environmentální rastrovací elektronový mikroskop (EREM), který je konstruován pro vysoký tlak plynů v komoře vzorku namísto vakua, umožňuje studovat vzorky obsahující vodu nebo živé biologické vzorky bez nutnosti jejich speciální úpravy. To z důvodu, že mezi komoru vzorku a tubus je vložena diferenciálně čerpaná komora. Vzhledem k velkým tlakovým spádům u této konstrukce dochází při čerpání plynu k nadzvukovému proudění za clonou oddělující komoru vzorku od diferenciálně čerpané komory. To se projevuje specifickým jevem kritického proudění ve cloně a poklesem tlaku v proudu v nadzvukové oblasti. Vhodnou konstrukční úpravou je možné využít daný jev a docílit snížení průměrného tlaku plynu ve dráze primárního svazku. To má za následek snížení rozptylu primárního svazku a zvýšení ostrosti výsledného obrazu.

Keywords

ANSYS Fluent, Electron microscopy, Environmental scanning electron microscope, ESEM, Shock wave, SolidWorks

Key words in English

ANSYS Fluent, Electron microscopy, Environmental scanning electron microscope, ESEM, Shock wave, SolidWorks

Authors

HLAVATÁ, P.; BAYER, R.

Released

27. 4. 2017

Publisher

Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních

Location

Brno

ISBN

978-80-214-5496-5

Book

Proceedings of the 23rd Conference STUDENT EEICT 2017

Edition number

1

Pages from

105

Pages to

107

Pages count

3

BibTex

@inproceedings{BUT135731,
  author="Pavla {Šabacká} and Robert {Bayer}",
  title="THE IMPACT OF CRITICAL FLOW IN DIFFERENTIALLY PUMPED CHAMBER",
  booktitle="Proceedings of the 23rd Conference STUDENT EEICT 2017",
  year="2017",
  number="1",
  pages="105--107",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-5496-5"
}