Applied result detail

Systém pro udržování konstantního odstupu od povrchu substrátu

ŘEZNÍČEK, M.; BURŠÍK, M.; JANKOVSKÝ, J.; OTÁHAL, A.

Original Title

Systém pro udržování konstantního odstupu od povrchu substrátu

English Title

System for maintaining a constant distance from the surface of the substrate

Type

Functioning sample

Abstract

Jedná se o pneumatický systém pro kompenzaci nerovností povrchu substrátů. Princip je založen na sledování změn tlaku vzduchu.

Abstract in English

It is a pneumatic system to compensate for inequalities of the surface substrates. The principle is based on the monitoring of changes in air pressure.

Keywords

Constant height, pressure, measurement, maintenance

Key words in English

Constant height, pressure, measurement, maintenance

Location

laboratoř 0.63 Vysoké učení technické v Brně Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Ústav mikroelektroniky Technická 3058/10 616 00 Brno Česká republika

Licence fee

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license