Membrána bolometru pro detekci IR záření

Bolometer membrane for IR detection

Functioning sample

Membrána bolometru pro detekci IR záření je vyrobena na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrát jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena.

The membrane of the bolometer to detect IR radiation is fabricated on a silicon substrate using CMOS compatible processes. The most important part of the sensor is made up of the membrane (SiO2), inside which is integrated resistive meander (Ti). When the impact of the IR radiation of the sensing element is heating, and a change in resistance. Heat losses are minimized thanks to the substrate with a thin feet, on which is a membrane suspended.

Bolometer, membrane, IR detection

Bolometer, membrane, IR detection

Laboratoř 0.67 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124