Product detail

Membrána bolometru pro detekci IR záření

NEUŽIL, P. SVATOŠ, V. PEKÁREK, J. GABLECH, I.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Membrána bolometru pro detekci IR záření je vyrobena na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrát jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena.

Keywords

Bolometr, membrána, IR detekce

Create date

15. 3. 2016

Location

Laboratoř 0.67 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124