Publication detail

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého

DUŠEK, J.

Original Title

Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého

English Title

Reactive Magnetron Sputtering of the Aluminium Oxide Coating

Type

article in a collection out of WoS and Scopus

Language

Czech

Original Abstract

Článek pojednává o návrhu a experimentálnímu ověření a testování depozičních parametů pro nově instalovaný hliníkový terč. Na základě získaných údajů depozičního procesu a hystereze naprašování bylo ověřeno vytváření vrstev Al2O3. Tento postup umožnil rozpoznání hranic mezi reaktivním a metalickým módem. Navržené hranice vytvořily technologické okno pro naprašování vrstev Al2O3.Vytvořené vrstvy byly testované na mechanické a optické vlastnosti a adhezi.

English abstract

This contribution deals with design, check and test of deposition parameters for new installed aluminium target. In addition of individual parts of deposition process and hysteresis of sputtering thin films of Al2O3 was verified. This made it possible to determine borders of reactive and metallic mode. The designed borders were created technological window for sputtering Al2O3 films. The sputtered thin films are tested on mechanical, optical properties and adhesion.

Keywords

reaktivní magnetronové naprašování, pulzní naprašování, vrstvy oxidu hliníku

Key words in English

Reactive magnetron sputtering, pulse sputtering, aluminium oxide coating

Authors

DUŠEK, J.

Released

28. 4. 2016

Publisher

Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií

Location

Brno

ISBN

978-80-214-5350-0

Book

Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016

Pages from

231

Pages to

233

Pages count

3

BibTex

@inproceedings{BUT128793,
  author="Jan {Dušek}",
  title="Reaktivní magnetronové naprašování vrstev oxidu hlinitého",
  booktitle="Proceedings of the 22nd Conference STUDENT EEICT 2016",
  year="2016",
  pages="231--233",
  publisher="Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-5350-0"
}