Applied result detail

Senzor plynů pro selektivní detekci NH3, iC4H10 a CH4

GABLECH, I.; ŠEDIVÝ, M.

Original Title

Senzor plynů pro selektivní detekci NH3, iC4H10 a CH4

English Title

Gas sensor for selective detection of NH3, iC4H10 and CH4

Type

Functioning sample

Abstract

Jedná se o senzor plynů založený na polovodivých oxidech kovů. Senzoru je tvořena čtyřmi aktivními oblastmi pokrytými SnO2, WO3, ZnO a TiO2 polovodičovými vrstvami vyznačujícími se rozdílnou citlivostí pro NH3, iC4H10 a CH4 při pracovní teplotě 350 °C. Aktivní vrstvy jsou nastříkány ve formě suspenze na interdigitální elektrody umístěné na křemíkovém substrátu o rozměrech 8 x 8 mm. Konkrétní plyn je detekován kvalitativně i kvantitativně na základě poměrů změny odporů všech čtyřech aktivních vrstev.

Abstract in English

A gas sensors based on semiconducting metal oxides. The sensor has four active regions covered by SnO2, WO3, ZnO and TiO2 semiconductor layers with different sensitivity to NH3, iC4H10 and CH4 at operating temperature of 350 °C. The active layers in a form of suspension are spray-coated over interdigitated electrodes on a silicon substrate 8 x 8 mm. Specific gas is detected qualitatively and quantitatively by comparing the change of resistance of all four active layers.

Keywords

gas sensor, metal oxide, ammonia, methane, isobutane

Key words in English

gas sensor, metal oxide, ammonia, methane, isobutane

Location

LabSensNano T10-N0.66

Licence fee

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

www