Patent detail

Membrána miniaturního bolometru se zvýšenou absorpcí

NEUŽIL, P. HUBÁLEK, J.

Patent type

Utility model

Abstract

Podstatou nového řešení je, že na membráně je vytvořena z těsně vedle sebe vertikálně umístěných uhlíkových nanotrubic absorpční vrstva o tloušťce v rozmezí 1 μm až 25 μm. Tyto nanotrubice mohou být jednostěnné nebo multistěnné. Protože se růst nanotrubic provádí na mikrobolometrech, které jsou tepelně izolované, jejich ohřevem se automaticky nebude ohřívat substrát, respektive se bude ohřívat jen marginálně. Hlavní výhodou oproti obvyklým způsobům je, že se zde využívají vertikálně uspořádané uhlíkové nanotrubice, které dohromady tvoří absolutně černé těleso. Ve srovnání se známými technikami pro zvyšování absorpce záření uvedené řešení zajišťuje necitlivost vytvořeného miniaturního bolometru na vlnové délce absorbovaného záření.

Keywords

bolometr, MEMS, teplotní senzor, uhlíkové nanotrubice

Patent number

28484

Date of application

23. 4. 2015

Date of registration

16. 7. 2015

Owner

Vysoké učení technické v Brně

Possibilities of use

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

Licence fee

The licensor requires a license fee for the result

www

http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0028/uv028484.pdf