Membrána miniaturního bolometru se zvýšenou absorpcí

Miniature bolometer membrane with increased absorption

Utility model

Podstatou nového řešení je, že na membráně je vytvořena z těsně vedle sebe vertikálně umístěných uhlíkových nanotrubic absorpční vrstva o tloušťce v rozmezí 1 μm až 25 μm. Tyto nanotrubice mohou být jednostěnné nebo multistěnné. Protože se růst nanotrubic provádí na mikrobolometrech, které jsou tepelně izolované, jejich ohřevem se automaticky nebude ohřívat substrát, respektive se bude ohřívat jen marginálně. Hlavní výhodou oproti obvyklým způsobům je, že se zde využívají vertikálně uspořádané uhlíkové nanotrubice, které dohromady tvoří absolutně černé těleso. Ve srovnání se známými technikami pro zvyšování absorpce záření uvedené řešení zajišťuje necitlivost vytvořeného miniaturního bolometru na vlnové délce absorbovaného záření.

The essence of the new solution is that the membrane is formed of closely adjacent vertically spaced carbon nanotubes absorbent layer having a thickness in the range of 1 micron to 25 microns. These nanotubes can be single-walled or multistěnné. Because the growth of nanotubes carried on the microbolometer, which are thermally insulated, the heater will automatically heat the substrate will be heated or only marginally. The major advantage over conventional methods is that they are used vertically aligned carbon nanotubes, which together form a black body. Compared with known techniques for increasing the absorption of radiation, this solution ensures insensitivity miniature bolometer formed on the wavelength of the absorbed radiation. (machined translation)

bolometr, MEMS, teplotní senzor, uhlíkové nanotrubice

bolometer, MEMS, temperature sensor, carbon nanotubes

28484

23.04.2015

16.07.2015

Vysoké učení technické v Brně

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0028/uv028484.pdf