Applied result detail

piezomotor, impact drive

NOVÁČEK, Z.; PAVERA, M.; NEUMAN, J.; ŠIKOLA, T.

Original Title

piezomotor, impact drive

English Title

Piezo-impact drive

Type

Functioning sample

Abstract

Jedná se o krokový motor využívající k pohybu piezokeramických prvků. Rozměry motoru jsou 25 mm x 25 mm x 11 mm a je navržen výhradně z materiálů vhodných do podmínek ultra vysokého vakua. Motor je vhodný zejména pro využití v rastrovacích sondových mikroskopech pro navádění sondy na konkrétní místa povrchu vzorku.

Abstract in English

Stepper drive is utilizing piezoceramic elements for the movement developed for fine movement of probe in scanning probe microscopes. Its dimensions are 25 mm x 25 mm x 11 mm. The motor is made only of ultra high vacuum compatible materials.

Keywords

piezoceramics; drive; stepper drive; ultra high vacuum

Key words in English

piezoceramics; drive; stepper drive; ultra high vacuum

Location

Laboratoře ÚFI, FSI VUT v Brně

Possibilities of use

only the provider uses the result

Licence fee

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

www