Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln

Membrane Resonator of Silicon Nitride for Acoustic Signal Detection

Functioning sample

Rezonanční membrána vyrobená z tenké membrány nitride křemíku s elektrodou z chrom-niklu je používaná pro detekci akustických vln o určité frekvenci. Křemíková struktura je vyrobená využitím standartních křemíkových technologií a je kontaktována k čipovému pouzdru. Detekce akustického signálu je založeno na rezonanci membrány, která kmitá při působením mechanických vln s frekvencí se stejnou hodnotou jako vlastní frekvence materiálu membrány v tomto případě SixNy vytvořeného metodou LPCVD.

Resonant membrane made of a thin silicon nitride membrane with an electrode made of chrome-nickel is used for the detection of acoustic waves of a certain frequency. The silicon structure is manufactured using standard silicon-based technology and is contacted to a chip housing. Detection of the acoustic signal is based on the resonance of the membrane, which vibrates under the action of mechanical waves with a frequency of the same value as the natural frequency of the membrane material in this case SixNy formed by LPCVD.[strojově přeloženo]

Resonant membrane, silicon nitride

Resonant membrane, silicon nitride

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=95