Publication detail

Tenkovrstvá technologie a jejich vlastnosti v elektronice

YAHYA, D.

Original Title

Tenkovrstvá technologie a jejich vlastnosti v elektronice

English Title

Thin film technology and their properties in electronics

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Práce popisuje Tenkovrstvá technologie a jejich vlastnosti v elektronice

English abstract

The artical describes the thin film technology and their properties in electronics

Keywords

Tenká vrstva,Vakuové napařování,Katodové naprašování,Tenkovrstvé kondenzátory

Key words in English

thin film, vacuum evaporation, cathodic sputtering, Thin film capacitors

Authors

YAHYA, D.

RIV year

2014

Released

14. 3. 2014

ISBN

0036-9942

Periodical

Sdělovací technika

Year of study

20144

Number

4

State

Czech Republic

Pages from

13

Pages to

14

Pages count

2

BibTex

@article{BUT106985,
  author="Doaa {W. F. Yahya}",
  title="Tenkovrstvá technologie a jejich vlastnosti  v elektronice",
  journal="Sdělovací technika",
  year="2014",
  volume="20144",
  number="4",
  pages="13--14",
  issn="0036-9942"
}