Publication detail

Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm

ZMRZLÝ, M.

Original Title

Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm

English Title

Chemical analysis of structure of coatings with resolution of 170 nm

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Souhrn výhod měření EDS spekter pomocí FEG SEM. Jsou prezentovány možnosti zmenšení interakčního objemu, úpravy kalibrace a plazmatické dekontaminace.

English abstract

Summary of advantages of EDS measurement with use of FEG SEM. Interaction volume decreasing, plasma decontamination and adjustement of calibration are discussed.

Keywords

FEG, EDS analysis

Key words in English

FEG, EDS analysis

Authors

ZMRZLÝ, M.

RIV year

2014

Released

4. 2. 2014

Publisher

ČSPÚ

Location

Jihlava

ISBN

978-80-905648-0-0

Book

Sborník přednášek

Pages from

34

Pages to

35

Pages count

149

BibTex

@inproceedings{BUT106341,
  author="Martin {Zmrzlý}",
  title="Chemická analýza struktury povlaků s rozlišením 170 nm",
  booktitle="Sborník přednášek",
  year="2014",
  pages="34--35",
  publisher="ČSPÚ",
  address="Jihlava",
  isbn="978-80-905648-0-0"
}