TO-8/LTCC platforma pro testování aktivních vrstev senzorů plynů

TO-8/LTCC platform for gas sensors active layers testing

Functioning sample

Jedná se o standardní pouzdro TO-8, do kterého je zasazen speciálně navržený substrát z LTCC keramiky sloužící pro testování nových aktivních vrstev polovodičových senzorů plynů. Čtyřvrstvý substrát z LTCC keramiky je navržen a realizován pro vsazení a vyhřívání aktivních vrstev nanesených na křemíkové nebo korundové destičce o maximálním rozměru 8 x 8 mm. Ze spodní strany substrátu je nanesen platinový vyhřívací element, který umožňuje vyhřívat testovanou aktivní vrstvu senzoru na pracovní teplotu až 450 st. C. Vývody LTCC substrátu jsou nasazeny na vývody TO-8 pouzdra a propojeny pomocí speciálně připravené tlustovrstvé pasty. Samotné aktivní vrstvy jsou pak pro účely testování připojeny pomocí hrotů nebo přímo přibondovány k pouzdru.

It is a standard TO-8 package with embedded specially designed LTCC substrate for new active layers of semiconducting gas sensors testing. Four layers LTCC substrate is designed and implemented for placement and heating of sensor's active layers deposited on silicon or corundum substrate of maximal dimensions of 8 x 8 mm. A platinum heater, which allow heating of tested sensor's active layer to the temperature up to 450 degree C, is deposited from the bottom side of the LTCC substrate. The LTCC contacts are placed on TO-8 package terminals and interconnected using specially designed thick film paste. Tested active layers are connected either by special tips or by wire bonding directly to the TO-8 package.

gas sensor, TO-8 package, testing, active layer

gas sensor, TO-8 package, testing, active layer

LabSensNano T10-N0.66

only the provider uses the result

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=68